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X射线光电子能谱仪(XPS)
2016-04-12 11:17  

 

X射线光电子能谱仪

 

生产厂家:ThermoFisher

设备型号:ESCALAB? 250Xi

主要技术指标

1.能量扫描范围:1-4000eV;

2.最佳能量分辨率:≤0.45eV(XPS),100meV(UPS);

3.最佳空间分辨率:≤3 μm (X射线光电子成像);

4.最佳灵敏度:1,000,000 cps (Mono XPS, Ag标样3d5/2峰);

5.分析室最佳真空度:优于2×10-10 mbar;

6.快速进样室最佳真空度:7×10-9 mbar;

7.分析室工作时的真空度:~2×10-9 mbar(打开X射线源的情况下)。

应用范围

光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一,可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息(3-92号元素);可对非均相覆盖层(如薄膜)进行深度分布分析,了解元素随深度分布的情况;可对元素及其化学态进行成像,给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像;还可利用UPS(紫外光电子能谱)研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。广泛应用于固体物理学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、材料科学、微电子技术及薄膜研究。

样品要求

1.检测元素:3-92号元素 

2.样品无放射性,无腐蚀性,无磁性,无毒性;

3.样品不吸水,在超高真空中及X光照射下不分解,无挥发性物质(如单质Na,K,S,P,Zn,Se,As,I,Te,Hg或者有机挥发物),避免对高真空系统造成污染;不大量放气(尤其是腐蚀性气体);若含有高挥发性分子或coating,请务必先行烘烤抽除;高分子样品在送样前须进行干燥处理。

4.样品须为固态样品(片状、块状或粉末):

(1)块状样品:面积小于5mm×8 mm,高度不可超过2 mm(表面要平整 );

(2)粉末样品:须用研钵将样品研细(粒度小于200目,特殊样品除外);

(3)薄膜样品:面积小于5mm×8 mm(测试面要做好标记)。

5.其他注意事项:

(1)样品分析面确保不受污染,可使用异丙醇,丙酮,正己烷,或三氯甲烷溶液(均为分析纯)清洗以达到清洁要求;

(2)使用玻璃制品(如表面皿、称量瓶等)或者铝箔盛放样品,禁止直接使用塑料容器、塑料袋或纸袋,以免硅树脂或纤维污染样品表面;

(3)制备或处理样品时使用聚乙烯手套,禁止使用塑料手套或工具以免硅树脂污染样品表面。

地点:D04-113A

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